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第一四七章 尋找外援

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芯片加工廠的事按部就班的進(jìn)行,王岸然也放下一塊大石頭。

不過這只是開始,王岸然要買的不僅僅是一攤子設(shè)備,二是要消化技術(shù)。

就那光刻機(jī)來(lái)說,這套設(shè)備使用的是尼康生產(chǎn)的gkl107 436納米波長(zhǎng)紫光光源,用的是高壓汞燈過濾之後色波長(zhǎng)。

這套設(shè)備用不了幾年就會(huì)被淘汰。

相比於市場(chǎng)上更爲(wèi)先進(jìn)的248納米的紫光光源光刻機(jī)落後了兩代,中間相隔了一代365納米光源光刻機(jī)。

要知道365納米和248納米光源,中間隔了一道鴻溝。

436納米紫光光源演進(jìn)到365納米紫光光源,只能說是技術(shù)的進(jìn)步,所用的光源都是高壓汞燈。

而到了248納米紫光光源,那就是技術(shù)的換代,所用的光源是鹵素激光光源。

而且,王岸然記得很清楚,在1995年,193納米紫光激光光源的光刻機(jī)在技術(shù)上已經(jīng)取得重大突破,在今後的幾年也將投入市場(chǎng)。

要知道,芯片生產(chǎn)的核心裝備光刻機(jī),每一次更新?lián)Q代付出的代價(jià),至少是百億美的數(shù)量級(jí)金,而且越往後越難。

歷史上,193納米紫光光刻機(jī)之後的換代,玩死了一大批老牌光刻機(jī)廠家。

原本全世界可以生產(chǎn)光刻機(jī)的有十三家,日本就有四家,到157納米光刻機(jī)之後,也就ASML能勉強(qiáng)活下來(lái),其他一大批廠家要麼倒閉,要麼半死不活。

島國(guó)最頂尖的尼康和佳能,也因爲(wèi)方向錯(cuò)誤,在157納米乾式光刻與ASML浸沒式光刻機(jī)在競(jìng)爭(zhēng)中落敗。

再加上ASML又搞出個(gè)雙工作臺(tái)技術(shù),大大提高了芯片的生產(chǎn)力和精度。

讓兩大巨頭徹底從生產(chǎn)高端光刻機(jī),淪爲(wèi)售賣中低端產(chǎn)品,再也無(wú)力最頂尖的極紫光光刻機(jī)的競(jìng)爭(zhēng)。

到了9102年,全世界的高端市場(chǎng),只養(yǎng)活了一家ASML。

事實(shí)上,如果沒有臺(tái)積電,Intel,三星等芯片巨頭的輸血,碩果僅存的ASML也將被市場(chǎng)的浪潮吞沒,光是臺(tái)積電和三星,在2016年就投了20億歐元,砸在ASML身上。

難,真難,也不一定會(huì)取得成功,光刻機(jī)的研究就是吞金巨獸,有沒有意義?

這是肯定的。

這不是錢的事。

但光刻機(jī),光刻膠,蝕刻機(jī),封裝設(shè)備,光憑華芯科技一家,吃透這些技術(shù)基本上不可能,這需要調(diào)動(dòng)全社會(huì)的力量。

在清大的光學(xué)研究所,王岸然生了一肚子的悶氣。

劉本清教授在激光光源上耕耘一生,在1971年,參與了我國(guó)第一臺(tái)紫光干涉激光的研製,在1980年,負(fù)責(zé)國(guó)家第一臺(tái)接近式JL_01光刻機(jī)的研製。

他實(shí)在受不了,自己的研究工作,會(huì)受一個(gè)毛頭小夥子的指點(diǎn)。

而王黯然也是氣不過,自己在光學(xué)研究所投了上千萬(wàn),現(xiàn)在好了,就是增加一個(gè)浸沒式光刻機(jī)的探討研究,就這麼難?

“王總,我再重申一遍,浸沒式光刻機(jī)雖然在理論上可以縮小投影圖,不過在實(shí)際操作上,已經(jīng)被證明了,這套技術(shù)行不通,研究下去就是浪費(fèi)錢。”

“劉教授,我只是建議在這上面再做一些探討,而且這項(xiàng)技術(shù)並沒有證明行不通,而是還沒有行通。”

劉本偉不屑一顧。

“王總,我跟你說這句話是實(shí)事求是的,浸沒式光刻技術(shù)在七八年前就有立項(xiàng),其中的困難跟你說,你也不清楚。

我只想說明一點(diǎn),有那個(gè)精力研究浸沒式光刻機(jī),把精力投到紫光激光光源上,效果會(huì)好的多。”

看來(lái)在這個(gè)時(shí)代,大家的普遍意識(shí)就是,搞浸沒式光刻機(jī)是條絕路。

王岸然深吸一口氣,犟鴨子嘴硬的科研人員太多了,自己當(dāng)初也是他們的一員,跟劉本清生氣,就是跟自己生氣。

這些人要是犯氣牛脾氣來(lái),能把天捅破,唯一的解決之道,就是以德服人,哦,不,是以理服人。

“超高純度折射率液體,往往水裡有一粒微塵,或者一個(gè)氣泡,或者多了一些離子,都可能對(duì)加工造成巨大的影響。

再加上高純水浮在晶片上,目前的光刻膠中的分子會(huì)溶進(jìn)水中,造成液體介質(zhì)污染,劉教授,我說的沒錯(cuò)吧!”

劉本清在王岸然說第一句話的時(shí)候就愣住了,什麼情況,他懂。

待到王岸然將兩大技術(shù)難點(diǎn)合盤而出,劉本清說道:“王總,你……?”

王岸然裝著沒看見,背過身,繼續(xù)說道:“除了兩大問題,在實(shí)際操作中,也會(huì)面臨平臺(tái)的穩(wěn)定性,校準(zhǔn)系統(tǒng),曝光時(shí)間等問題,需要按每臺(tái)機(jī)器的類型多次調(diào)試……”

劉本清想給王岸然豎個(gè)大拇指,說一聲牛,這些資料可不怎麼容易找到。

“王總,既然你知道浸沒式光刻機(jī)的缺陷,還需要繼續(xù)堅(jiān)持嗎?”

王岸然點(diǎn)點(diǎn)頭,說道:“爲(wèi)什麼不!劉教授,高純水介質(zhì)我們可以自己研發(fā)也可以跟外國(guó)合作,厭水光刻膠我們也可以這麼辦,當(dāng)然,也可以考慮在光刻膠上再噴一道絕水薄膜,沒有試過,怎麼知道不行!”

“我們?cè)囘^很多種辦法!”

“那就再試,試到解決爲(wèi)止……”

王岸然毫不客氣,作爲(wèi)投資人,他是來(lái)發(fā)布命令的,而不是跟你討價(jià)還價(jià)。

浸沒式光刻機(jī)肯定是未來(lái)的方向,而且波長(zhǎng)越長(zhǎng),通過折射後,縮微的效果越明顯。

況且,光刻機(jī)的波長(zhǎng)並能完全決定芯片的製程,通過特定的曝光方式也可以提高製程。

事實(shí)證明,193納米的紫光光源,也可以進(jìn)行65納米芯片工藝的生產(chǎn)。

以前世對(duì)半導(dǎo)體芯片製造的理解,浸沒式光刻,多重曝光方式能夠取得進(jìn)步的話,完全可以將這臺(tái)東芝的二手貨,改造成一臺(tái)可以生產(chǎn)800納米工藝的芯片加工廠,甚至更爲(wèi)先進(jìn)的320納米工藝也不是不可能。

只不過芯片生產(chǎn)的效率,肯定會(huì)差很多,但至少說明一點(diǎn),我們掌握了這項(xiàng)技術(shù)。

而且通過這一過程,華芯科技還可以積累這部分的專利,在ASML前面設(shè)置一套專利壁壘。

至於這套專利有什麼用,王岸然無(wú)法評(píng)估,按照他的估計(jì),到那個(gè)時(shí)候,美利堅(jiān)政府應(yīng)該也會(huì)插手吧!

還有五年的時(shí)間,王岸然在紙上寫下磁懸浮雙工作臺(tái),浸沒式光刻系統(tǒng),兩大未來(lái)發(fā)展方向。

這次他不打算,光靠國(guó)內(nèi)研究機(jī)構(gòu)的力量。

“該到尋找外援的時(shí)候了!”

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