如果沒有周碩的干擾，從0.35微米工藝向0.25微米工藝過渡的光刻機，真實歷史上實際使用的是步進重複投影曝光技術(shù)。

在0.35微米工藝及之前，光刻機光學(xué)掩膜版的製作要求是非常高的。基本上和生產(chǎn)的芯片，是一對一全比例設(shè)計。

掩膜版投射的鏡頭需要與硅片進行完全的接觸，接觸中甚至要抽成真空狀態(tài)。然後光源系統(tǒng)的激光打到掩膜版上，投影部分的光刻膠就會被蒸發(fā)掉。把這樣的晶圓放到蝕刻機裡面，化學(xué)藥品就會將沒有覆蓋光刻膠的部分腐蝕掉，然後再把晶圓轉(zhuǎn)移到離子注入機上進行離子注入……

把鏡頭和晶圓直接接觸，或者兩者之間只有小縫隙的接近，這種光刻機被稱之爲(wèi)接觸、接近式曝光技術(shù)。因爲(wèi)使用這種技術(shù)的光刻機鏡頭要和晶圓進行完全的接觸，對掩膜版、鏡頭、晶圓和光刻膠都有非常高的要求。

這種設(shè)計自有其好的一面，對鏡頭精度要求低，系統(tǒng)複雜度低，以及成像質(zhì)量高之類的優(yōu)點。但也有其致命的缺陷，0.35微米工藝基本上就是其經(jīng)濟性的極限了。

0.25微米工藝光刻機想要延續(xù)接觸式曝光，整個系統(tǒng)需要的機械精密程度，掩膜版的成本、掩膜版和硅片的接觸緊密度，系統(tǒng)的集成難度都開始了幾何級數(shù)的增加。

於是在原本的歷史上，尼康也好、阿斯麥也好都選擇了另一條路，那就是非接觸式曝光。也就是投影式曝光技術(shù)。

這種技術(shù)說白了，就是好像平常用放大鏡聚集太陽光一樣。用棱鏡系統(tǒng)將光源從遠(yuǎn)處投射到硅片上。這樣經(jīng)過幾次聚焦、折射、再聚焦，最終投影到硅片上的圖形比掩膜版甚至可以小上4倍。

對於沉浸式光刻技術(shù)而言。投影式曝光技術(shù)最大的好處就是——避免了使用防水光刻膠的高成本。

其實說起來，周碩現(xiàn)在真的很想哈哈大笑一下，以發(fā)泄自己內(nèi)心的暢快！

日本人費盡心思弄到了防水光刻膠的技術(shù)，原本他們這個技術(shù)至少是可以吃一代光刻機沒問題的。歷史上，早期沉浸式光刻機系統(tǒng)也是使用防水光刻膠的接近式光刻機，直到投影式光刻機成爲(wèi)主流防水光刻膠才退出了歷史舞臺。

他現(xiàn)在拿出來的這份文件，自然就是投影式光刻機的技術(shù)專利，可以說這項技術(shù)一出防水光刻膠就是一個廢物了！

鶴田剛開始還不以爲(wèi)然，在他的心裡早就已經(jīng)認(rèn)爲(wèi)泛翰集團是砧板上的魚肉。哪裡還有什麼翻盤的機會？

這個年代裡，日本人不僅是驕傲的，而且也非常有驕傲的資本。整個九十年代，世界十大晶圓廠，日本人佔了半數(shù)還多！

在鶴田和所有日本人看來，中國人能拿出沉浸式光刻技術(shù)純粹就是瞎貓碰死耗子，反正搞舉國體制不正是共產(chǎn)國際的強項嘛！

除了沉浸式光刻技術(shù)這種獨闢蹊徑的取巧之道，日本人絕不相信泛翰集團還能在其他方向產(chǎn)生突破，他們手裡的底牌也就是僅此而已。

然而事實證明。中國人比他們想象的要強大的多。這對鶴田來說，不啻是一個巨大的嘲諷。

以技術(shù)先進爲(wèi)傲的尼康，竟然會屢屢失敗在一個小小的中國企業(yè)面前！這tm的不科學(xué)啊！

鶴田的臉色隨著他看完整個授權(quán)專利證書之後，就黑的好像一塊鍋底的黑炭了。任誰在看到自家花費巨資研發(fā)出來的技術(shù)。轉(zhuǎn)眼就被人給淘汰掉了，心裡肯定都會恨不得把對方給咬死。

可惜，鶴田註定是不敢咬死人的。

步進投影技術(shù)不僅能擺脫對防水光刻膠的依賴。更重要的是隻要稍作優(yōu)化，立刻就又能把光刻機制程技術(shù)向前推進一個時代……

你們要不要這麼逆天？！

鶴田很想這麼吶喊一聲。如果讓泛翰集團這麼肆無忌憚的發(fā)展下去，說不定連摩爾定律都要被打破了。

從0.35微米工藝都沒普及的程度。直接跳到0.18微米，可以想象這會在市場上掀起怎樣的腥風(fēng)血雨。

鶴田牙縫裡再敢蹦個“不”字，尼康就要被管殺不管埋了。

“周桑……這個文件是真的？”鶴田張了張嘴，腦袋裡一團亂麻，只能問出這麼沒有營養(yǎng)的問題了。

他對重複投影式曝光技術(shù)並不陌生，如果說沉浸式光刻技術(shù)是左道旁門，那投影式曝光就是名門正道！光刻機提升性能的主要方法，大多都是通過增加光學(xué)系統(tǒng)精度實現(xiàn)的——而重複投影曝光技術(shù)，可以說是將這種思路延續(xù)到了極致！

“呵呵，是不是真的，尼康可以自己求證一下。”周碩無所謂的聳了聳肩，輕鬆的笑道。

鶴田背靠在椅子上，心知這種事情是不可能作假的。只要他一個電話過去，用不了半個小時查詢結(jié)果就能出來，耍這種花招毫無意義。

即使如此，他仍然吩咐手下讓人去查詢相關(guān)的專利情況。一紙證書能夠體現(xiàn)的東西有限，專利註冊的時候需要提供很多技術(shù)思路，說不定也會有所收穫。不過那都是以後的事情了，現(xiàn)在周碩表現(xiàn)的來的實力，卻不允許他再肆無忌憚的打壓下去。

“好吧，周桑。”鶴田呼出一口氣，這種勝利即將到手卻被人絕地翻盤的感覺，實在是太傷士氣了。他強打精神擡起頭來，看向周碩說道：“既然情況出現(xiàn)了變化，尼康可以重新考慮原來的要求。違約金、退股和遷移生產(chǎn)線這些問題，咱們都可以好好談一談……”

“談什麼？”周碩抱著胸，笑吟吟的問道。

“呃，談?wù)勀闶盅e的技術(shù)。”鶴田老臉一紅，這樣的轉(zhuǎn)變未免太過生硬了一些，不過這時候卻也顧不得了：“說實話爲(wèi)了實現(xiàn)利潤最大化，現(xiàn)在就公佈投影步進式光刻技術(shù)並不是一個好主意。要我說大可當(dāng)做儲備技術(shù)，等我們在沉浸式光刻機上面賺到滿意之後，再放出這項技術(shù)來。”

“怎麼，尼康現(xiàn)在不想把我掃地出門了？”周碩低頭摳著手指甲，心不在焉的問道。

“哈哈，尼康怎麼會有這種打算！”鶴田大笑了一聲，掩飾他臉上的尷尬，晃著撥浪鼓似的腦袋說道：“泛翰集團是尼康最重要的合作伙伴，我們絕不會做出這種……嗯，卸磨殺驢的事情。”

他自認(rèn)爲(wèi)用了一箇中國成語還是很值得高興的事情，自得的笑著笑著卻再也笑不下去了，因爲(wèi)對面的周碩臉上始終都是冷冰冰的一片。

“鶴田桑敢做不敢認(rèn)，這就太沒有男子漢氣概了。”周碩淡淡的說道：“既然尼康不想收購我手裡的股份了，那咱們就談?wù)勀銈兪盅e那51%的股份吧。”

“納尼？”鶴田坐直了身體，眼光猛的正經(jīng)了起來：“周桑這話是什麼意思，51%已經(jīng)是尼康持股的底線了，這個條件是不容討論的問題！”

“這麼說吧——”周碩輕輕的吹了吹用指甲刀磨好的指甲，漸漸收斂起笑臉道：“破產(chǎn)和出售光刻機子公司，尼康選擇哪個？”

“周桑這話是什麼意思？”鶴田的臉上難得出現(xiàn)了一絲慌亂，強笑道：“你知不知道尼康是什麼公司，豈是能說破產(chǎn)就破產(chǎn)的？”

周碩哦了一聲，挑了挑眉說道：“那是我說錯話了，尼康每月五個億的違約金都能支付的起？”

“五個億？”鶴田嚇了一跳，驚恐的看著周碩，矢口否認(rèn)道：“什麼五個億，我們尼康哪裡需要支付五個億的違約金？”

鶴田怎麼會不知道周碩說的是什麼，正是因爲(wèi)他知道，所以才心中驚恐萬分。尼康和intel簽署的合約不說是絕對機密，但也不是誰想知道都能知道的。雖然對這次合同提出了這麼高的違約金感到奇怪，但因爲(wèi)徹底掌握了光刻機市場，尼康並沒有太過在意。

一個月五億美元的違約金確實是高，但intel也要有這個膽量來收。

在阿斯麥已經(jīng)推出競爭的今天，整個光刻機高端市場都落入了尼康的手裡，尼康光刻機就是皇帝的女兒——不愁嫁。在這種合作關(guān)係下，合同就是一張紙，intel又怎麼敢真的去收尼康的違約金？

就好像移動吞了用戶的月剩餘流量，絕大多數(shù)移動網(wǎng)絡(luò)用戶都不會說這不合理，即使不合理也要有這個本錢去和壟斷資本談判啊！

intel如今是求著尼康供貨，而不是尼康求著intel。這五個億美元的違約金好拿不好用，除非intel以後再也不升級光刻機工藝水平，否則怎麼敢這麼得罪尼康？

“呵呵，看來鶴田桑真是貴人多忘事。”周碩不以爲(wèi)意的聳了聳肩，露出一口潔白的牙齒笑道：“您可以想想看，如果阿斯麥得到了重複投影曝光技術(shù)，intel是否還會這樣有耐心的等待下去？”

周碩這話說完，突然對面噗通一聲。鶴田在衆(zhòng)目睽睽之下，竟然從凳子上滑了下去！