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第259章 突破14nm光刻機工藝

華達九天興師動眾的招聘啟事并沒有引起業界轟動,因為EDA的盤子實在是太小了。

2021年,全球半導體產業銷售額達5188億美元,然而作為芯片基礎的EDA產業卻只有區區70億美元左右,簡直令人難以置信。

而中國EDA銷售額在這70億美元里面,更是連1%都沒有占到。

這種情況下,外國巨頭根本懶得關心中國EDA的發展情況。

就算再折騰又能怎么樣?

而且話說回來了,要知道任何EDA軟件都是和市場掛鉤的,EDA是上游廠商、設計廠商、制造廠商、封測廠商合作的產物,任何一個環節落后或缺失,都會對EDA工具有影響。

舉個最簡單的例子,國外最先進的EDA軟件可以設計、仿真、驗證5nm甚至3nm的芯片,國內的EDA呢?目前還徘徊在28nm左右,差距就像地球到月球這么遠。

就在國外EDA企業不以為然之際,中國的EDA軟件,在時隔三十年后,再次揚帆起航了。

……

4月18號上午九點,中海自貿區張東路1525號。

這里是中海微電子裝備有限公司(SMEE)總部,同時中星微電子裝備股份有限公司(XHZZ)研發基地也設立在這里。

此時,單層面積超過5000平方米的大型實驗室里,無數身穿白色無塵服的研究員正在忙碌著,還有很多類人機器人也在自由的穿梭其中,帶給人一種科幻大片現場的視覺沖擊!

就在這時,實驗室挑高的二層參觀臺上涌出一大群人,老中青都有。

被眾人簇擁在最前面的三人分別是GWY下來考察調研的首長,SMEE董事長孫立群以及陳序。

孫立群介紹道:“這些機器人全部是星海科技研發制造的特種工業機器人……

光源系統、攝像光學系統、調焦掃描系統、視頻采集系統和監測軟件等等,也是由星海科技獨家研發,并且擁有全部知識產權……”

“了不起啊!難怪網上都說星海是中國科技的未來之星。”

陪同著一起超前的陳序,謙虛道:“總L過獎了,我們還有很多不足的地步。”

首長親切的拍拍他肩膀,然后順著參觀臺上設立的透明甬道朝前走去,邊走邊看,同時問道:“那目前主要還有哪些困難呢?”

“主要就是機械精度方面有待提高…它里面有兩個同步運動的工件臺,一個載底片,一個載膠片,兩者需要始終同步,誤差要在2nm以下,而兩個工作臺由靜到動,加速度跟導彈發射差不多……”

孫立群搶著介紹了一番后,首長轉頭問右側的陳序,“小陳你估計多長時間能研制成功?”

陳序組織了一下語言說:“如果一切順利的話,大概今年底吧!”

說完陳序又跟到:“因為是第一次做沒經驗,再加上一些關鍵性的零部件被卡了脖子,只能通過自主研發。不過等到7nm時應該會很輕松。”

首長聞言有些訝異道:“7nm?”

孫立群再次搶著介紹道:“總L您沒聽錯,正是7nm。

我們和星海在研發14nm以及10nm的同時也在布局7nm,而且我們的7nm技術跟國外的稍稍有些不同……”

首長聽完后點點頭,再次伸手拍拍陳序的手臂,“嗯,你是好樣的!”

陳序被夸的有些不好意思了,呵呵笑著沒說話。

一個小時后,下來考察調研的領導及隨行人員乘坐考斯特離開了,陳序回到辦公室直接癱坐在了沙發里,說:“感覺比做十天實驗還累。”

跟進來的中星微電子總負責人張海春,笑呵呵道:“一般搞學術的人,都不怎么喜歡這種場合,等以后習慣了應該會好一些。”

張海春是光刻機領域的大牛級人物,曾先后在ASML及臺積電工作,甚至還被SMEE聘請為高級總工程師,不過后來因為某些原因離職了。

他在國際學術圈的地位比周東林還牛掰。

“呵呵,也許吧。”陳序說著坐起來點了一根煙,“超精密工件臺的實驗怎么樣了?”

“不怎么理想,目前實驗最多只能到5nm,距離要求的2nm還有一定的差距,德國跟日苯那邊……”

陳序聽了一會,然后一把把香煙摁滅,起身道:“走,帶我過去看看。”

光刻機和別的設備不一樣,它里面大部分零部件都需要專門定制。

什么意思呢,就是你想在市場上買配件來組裝都不可能。

而越高端定制的比例也越高,到了10nm這個級別,里面90%以上都是定制的。

且不是你想定制就能定制的,得看上游廠商愿不愿意接你的訂單。

他之前花高價從荷蘭買配件,就是因為那些配件如果全部自己生產的話,先不說短時間能不能生產出來,就算能做出來,價格也要貴上十倍都不止!

不過以后不行了,歐美日韓對星海進行了全面的技術封鎖,荷蘭那邊已經pass掉XHZZ的訂單申請。

不僅僅是荷蘭,德國跟日苯那邊的零部件訂單也毀約了,導致最關鍵的超精密工件臺一直不能達到滿意要求。

來到實驗室,陳序控制機器人調校超精密工件臺,而小白則根據電腦上的反饋結果重新編寫控制程序。

一遍、兩遍、十遍……

這一做就是十二小時,餓的實在撐不住了才出去吃一點,然后繼續全身心的投入到實驗中來。

超精密機械的調校是非常耗費時間精力的,像米國Cymer、德國蔡司的工程師對每一個部件的調校次數都有可能高達十年以上。

當然,陳序不可能像那些工程師一樣,花費十年去調校一個零部件,也不需要。

小白會幫他省去百分之九十九的步驟。

半個月后,經過陳序廢寢忘食的工作,把超精密工件臺的精度調校到了3nm。

這是一個具有里程碑紀念意義的時刻!

因為3nm的超精密工件臺已經滿足了14nm光刻機的制備工藝要求。

從這一刻起,中國算是全面掌握了14nm光刻機的制造技術。

上百名工程師全部圍了過來,看著模擬機上的超精密工件臺高速運行著,很多人眼睛里泛起了淚花。

偌大的實驗室里響起了熱烈的掌聲。

“啪啪啪……”

多少年了,中國一直嚷著制造“中國芯”,但是因為造不出來尖端光刻機,這個夢想只能停留在幻想之中。

在機械、通訊設備、企業金融、航空航天等核心領域,不得不大量采用國外的芯片。

而眾所周知,芯片是可以開后門的,而且是非常容易的事情。

最危險的就是只要不拔電池,通過芯片后門你所有的動作、所有的信息別人都可以輕易獲取,而且你還不知道。

舉個最簡單的例子,智能手機一般都裝有GPS芯片,即使關機了也可以定位。

張海春博士看著電腦上運行的數據,膀激動的說:“好啊…好!實在是太好了!”

陳序面帶笑容說:“還是差了點!不過差不多到極限了,想達到10nm的制備工藝,只能從硬件上想辦法了。”

“已經非常厲害了……”

現場工程師個個都以崇拜的眼神看著陳序。

很快SMEE的董事長孫立群,以及魯嘉榮博士都是聞訊趕來,看到運行數據都是興奮的恨不得手舞足蹈。

“實在是太好了!”孫立群說著朝實驗室大門口跑去了,看樣子是去打電話給上級部門報喜了。

魯嘉榮博士激動到眼淚都下來了,緊緊摟著陳序的肩膀,看著模擬機上高速運轉的工件臺,語無倫次道:“陳工……你…好啊……”

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